《GB/T 4937.11-2018 半導體器件 機械和氣候試驗方法 第11部分:快速溫度變化 雙液槽法》是中國國家標準化委員會發(fā)布的標準,用于半導體器件的機械和氣候試驗。該標準主要描述了使用雙液槽法進行快速溫度變化試驗的方法和要求。
一、范圍:
GB/T 4937的本部分規(guī)定了快速溫度變化--雙液槽法的試驗方法。當器件鑒定既可以采用空氣-空氣溫度循環(huán)又可以采用快速溫度變化--雙液槽法試驗時,優(yōu)先采用空氣-空氣溫度循環(huán)試驗。
本試驗也可采用少量循環(huán)(5次~10次)的方式來模擬清洗器件的加熱液體對器件的影響。
本試驗適用于所有的半導體器件。除非在有關規(guī)范中另有說明,本試驗被認為是破壞性的。
本試驗與GB/T 2423.22-2002基本一致,但鑒于半導體器件的特殊要求,采用本部分的條款。
二、試驗項目:
雙液槽快速溫度變化試驗。
三、試驗設備:
液槽式冷熱沖擊試驗箱。
四、設備廠商:
環(huán)儀儀器
五、試驗程序(部分):
樣品應放于液槽中的合適位置,使液體在樣品中間及周圍的流動不受到阻礙。然后根據(jù)表1的規(guī)定,使負載按試驗條件C或其他規(guī)定的試驗條件進行15次循環(huán)(對于模擬清洗應進行10次循環(huán))。為了進行器件批的加載或去載,或由于電源或設備故障,允許中斷試驗。
然而,對任何給定的試驗,若中斷次數(shù)超過規(guī)定循環(huán)總次數(shù)的10%,試驗應重新開始。
根據(jù)該標準的要求,試驗時將半導體器件置于兩個溫度控制液槽中,通過控制液槽中的溫度快速變化來模擬實際使用中的溫度變化情況。通過對器件的性能和可靠性進行觀察和評估,可以判斷其在溫度變化環(huán)境下的適應能力和穩(wěn)定性。