《GB/T 4937.42-2023 半導(dǎo)體器件 機械和氣候試驗方法 第42部分：溫濕度貯存》標(biāo)準(zhǔn)

《GB/T 4937.42-2023 半導(dǎo)體器件 機械和氣候試驗方法 第42部分：溫濕度貯存》是中國國家標(biāo)準(zhǔn)化委員會發(fā)布的標(biāo)準(zhǔn)，用于評估半導(dǎo)體器件在溫濕度貯存條件下的性能和可靠性。該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了溫濕度貯存試驗的方法和要求。

一、范圍：
本文件規(guī)定了評價半導(dǎo)體器件耐高溫高濕環(huán)境能力的試驗方法。
本文件用來評價塑封半導(dǎo)體器件和其他類型封裝半導(dǎo)體器件的芯片金屬化互連耐腐蝕能力。也可作為由于濕氣通過鈍化層滲透而導(dǎo)致漏電的加速方法，以及多種試驗前的預(yù)處理方法。

二、試驗項目：
溫濕度貯存。

三、試驗設(shè)備：
恒溫恒濕試驗箱、HAST不飽和蒸汽壽命試驗機。

四、設(shè)備廠商：
環(huán)儀儀器

五、試驗程序（部分）：

溫濕度條件應(yīng)從表1中選取。除相關(guān)文件另有規(guī)定外，使用條件C。對規(guī)定條件D、E和F，除相關(guān)文件另有規(guī)定外，應(yīng)依據(jù)圖1的曲線，從試驗開始到結(jié)束對溫度進(jìn)行控制，在升溫和降溫期間對濕度進(jìn)行控制。應(yīng)注意，現(xiàn)場使用中不會發(fā)生的外引線電鍍金屬間短路（漏電)，在條件C (85 “℃、85% RH）和條件D、E和F(不飽和高壓蒸汽試驗）下，可能會發(fā)生而造成失效。

試驗持續(xù)時間
除相關(guān)文件另有規(guī)定外，試驗持續(xù)時間應(yīng)依據(jù)表1。當(dāng)試驗持續(xù)時間依據(jù)相關(guān)文件的規(guī)定時，還應(yīng)在相關(guān)文件中記錄并增加加速和擴散模型，該模型用來估計使用條件下的水汽暴露持續(xù)時間。在條件D、E和F下，應(yīng)從氣壓和溫度穩(wěn)定后開始計時，如圖1所示。

通過溫濕度貯存試驗，可以評估半導(dǎo)體器件在長時間貯存過程中的性能穩(wěn)定性和可靠性，檢測器件是否受到溫濕度變化的影響。試驗結(jié)果可以用于產(chǎn)品質(zhì)量控制、可靠性改進(jìn)以及長期貯存環(huán)境條件的確定等方面。