《GB/T 4937.42-2023 半導體器件 機械和氣候試驗方法 第42部分：溫濕度貯存》標準

《GB/T 4937.42-2023 半導體器件 機械和氣候試驗方法 第42部分：溫濕度貯存》是中國國家標準化委員會發(fā)布的標準，用于評估半導體器件在溫濕度貯存條件下的性能和可靠性。該標準規(guī)定了溫濕度貯存試驗的方法和要求。

一、范圍：
本文件規(guī)定了評價半導體器件耐高溫高濕環(huán)境能力的試驗方法。
本文件用來評價塑封半導體器件和其他類型封裝半導體器件的芯片金屬化互連耐腐蝕能力。也可作為由于濕氣通過鈍化層滲透而導致漏電的加速方法，以及多種試驗前的預處理方法。

二、試驗項目：
溫濕度貯存。

三、試驗設備：
恒溫恒濕試驗箱、HAST不飽和蒸汽壽命試驗機。

四、設備廠商：
環(huán)儀儀器

五、試驗程序（部分）：

溫濕度條件應從表1中選取。除相關文件另有規(guī)定外，使用條件C。對規(guī)定條件D、E和F，除相關文件另有規(guī)定外，應依據圖1的曲線，從試驗開始到結束對溫度進行控制，在升溫和降溫期間對濕度進行控制。應注意，現場使用中不會發(fā)生的外引線電鍍金屬間短路（漏電)，在條件C (85 “℃、85% RH）和條件D、E和F(不飽和高壓蒸汽試驗）下，可能會發(fā)生而造成失效。

試驗持續(xù)時間
除相關文件另有規(guī)定外，試驗持續(xù)時間應依據表1。當試驗持續(xù)時間依據相關文件的規(guī)定時，還應在相關文件中記錄并增加加速和擴散模型，該模型用來估計使用條件下的水汽暴露持續(xù)時間。在條件D、E和F下，應從氣壓和溫度穩(wěn)定后開始計時，如圖1所示。

通過溫濕度貯存試驗，可以評估半導體器件在長時間貯存過程中的性能穩(wěn)定性和可靠性，檢測器件是否受到溫濕度變化的影響。試驗結果可以用于產品質量控制、可靠性改進以及長期貯存環(huán)境條件的確定等方面。