《GB/T 4937.2-2006 半導(dǎo)體器件 機(jī)械和氣候試驗(yàn)方法 第2部分:低氣壓》標(biāo)準(zhǔn)

《GB/T 4937.2-2006 半導(dǎo)體器件 機(jī)械和氣候試驗(yàn)方法 第2部分:低氣壓》是中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化委員會(huì)發(fā)布的標(biāo)準(zhǔn)，用于評(píng)估半導(dǎo)體器件在低氣壓環(huán)境下的可靠性和適應(yīng)性。該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了低氣壓試驗(yàn)的方法和要求。

一、范圍：
本部分適用于半導(dǎo)體器件的低氣壓試驗(yàn)。本項(xiàng)試驗(yàn)的目的是測(cè)定元器件和材料避免電擊穿失效的能力，而這種失效是由于氣壓減小時(shí)，空氣和其他絕緣材料的絕緣強(qiáng)度減弱所造成的。本項(xiàng)試驗(yàn)僅適用于工作電壓超過(guò)1 000 V的器件。
本項(xiàng)試驗(yàn)適用于所有的空封半導(dǎo)體器件。本試驗(yàn)僅適用于軍事和空間領(lǐng)域。
本項(xiàng)低氣壓試驗(yàn)方法和IEC 60068-2-13大體上一致，但鑒于半導(dǎo)體器件的特殊要求，使用本部分條款。

二、試驗(yàn)項(xiàng)目：
低氣壓試驗(yàn)。

三、試驗(yàn)設(shè)備：
低氣壓試驗(yàn)箱。

四、設(shè)備廠商：
環(huán)儀儀器

五、試驗(yàn)程序（部分）：

樣品應(yīng)按規(guī)定放置在密封室內(nèi)，并按規(guī)定把氣壓減小到表1中的某個(gè)試驗(yàn)條件。把樣品保持在規(guī)定的氣壓下，對(duì)它們進(jìn)行規(guī)定的試驗(yàn)。在試驗(yàn)期間及試驗(yàn)前的20 min 內(nèi)，試驗(yàn)溫度應(yīng)為25℃±10℃。對(duì)器件施加規(guī)定的電壓，在從常壓到規(guī)定的最低氣壓并恢復(fù)到常壓的整個(gè)過(guò)程中監(jiān)測(cè)器件是否出現(xiàn)故障。

在試驗(yàn)的最后，將樣品從密封室中移出并在標(biāo)準(zhǔn)大氣條件下保持2 h~24 h。樣品上吸附的冰和水汽應(yīng)預(yù)先除去。

《GB/T 4937.2-2006》標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了試驗(yàn)裝置、試驗(yàn)樣品的選擇和準(zhǔn)備、試驗(yàn)條件、試驗(yàn)過(guò)程和評(píng)定方法等方面的要求。通過(guò)該標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行的低氣壓試驗(yàn)可以幫助制造商和使用者了解半導(dǎo)體器件在低氣壓環(huán)境下的可靠性表現(xiàn)，指導(dǎo)產(chǎn)品設(shè)計(jì)和改進(jìn)工藝。